林致远顿时号令光刻机研发小组,尽快将浸润式技术做成论文,颁发在最大的相干科学杂志上,同时申请专利。
八月下旬,活着界着名的《半导体科技》杂志上,来自神州的电科个人四十五所颁发了《浸润式光刻机事情道理》一文,论文一经颁发,立即震惊了全部天下的光刻机界。
林致远顿时号令光刻机研发小组,尽快将浸润式技术做成论文,颁发在最大的相干科学杂志上,同时申请专利。
八月下旬,活着界着名的《半导体科技》杂志上,来自神州的电科个人四十五所颁发了《浸润式光刻机事情道理》一文,论文一经颁发,立即震惊了全部天下的光刻机界。